普通的平面研磨機(jī)所 達(dá)到的工件表面粗糙度與加工精度，能夠保證工件操控在一定范圍，而精密研磨主要是依靠砂輪的精細(xì)修整，使得金剛石修整工具能夠以極小的并且有較為均勻的進(jìn) 給，獲得一個等高微刃，在加工工件表面進(jìn)行加工的表面劃痕較細(xì)，由于進(jìn)行微切削，摩擦等綜合作用，能夠達(dá)到工件表面低粗糙度以及高精度要求，精密研磨加工 主要是依靠精密平面研磨機(jī)設(shè)備的精度進(jìn)行保證。

　　超高精密加工是機(jī)械制造技術(shù)發(fā)展的支柱,已越來越得到重視和發(fā)展。在電子、光學(xué)儀器、航空、航天、機(jī)械、醫(yī)療器械及能源等工程領(lǐng)域中,超高精密加工這項工藝技術(shù)已是必不可少的手段,并且正在不的斷完善和提高,向加工精度的極限進(jìn)軍。 超高精密加工技術(shù),是從毫米級加工發(fā)展而來的。20世紀(jì)初比較高加工精度為0.01毫米,現(xiàn)在能達(dá)到0.002毫米或者更高。

　　超精密研磨的主要特點是高精密、高效率以及低成本，超精密平面研磨機(jī)進(jìn)行加工，是目前所能夠達(dá)到比較低的研磨表面粗糙度以及比較高的加工精度的研磨方法。

　　超精密研磨加工主要是去除工件表面薄，采用較小的修整來進(jìn)行砂輪修整，主要是依靠超細(xì)磨粒進(jìn)行作用，超精密研磨要求去除振動以及保持恒溫的環(huán)境，這種超精密平面研磨加工帶有一定的拋光性質(zhì)。